
2017年8月, Linggas完成了電子級一氧化碳生產(chǎn)的升級改造,正式宣布恢復(fù)生產(chǎn),重返市場。
Linggas先后投入將近500萬人民幣對電子級一氧化碳的純化系統(tǒng)和分析系統(tǒng)進行了全面改造和優(yōu)化:
1、全新設(shè)計的純化系統(tǒng)
我公司采用甲酸脫水工藝制取≥99.9% 純度的一氧化碳,再通過吸附和低溫精餾純化工藝獲得≥99.999%的高純度電子級產(chǎn)品。
氮氣雜質(zhì)的分離與去除是一氧化碳純化的難點。我公司研發(fā)團隊經(jīng)過半年的技術(shù)攻關(guān),成功突破了一氧化碳純化過程中的多個技術(shù)難點,對整個純化系統(tǒng)進行了全面優(yōu)化設(shè)計,建成一套全新的一氧化碳純化裝置,裝置設(shè)計產(chǎn)能45000M3/a,產(chǎn)品純度由原來的4N8提高到5N。同時,純化裝置關(guān)鍵參數(shù)全部實現(xiàn)DCS系統(tǒng)自動控制,保證裝置的安全運行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。整體達到世界同行業(yè)先進水平。
2、不斷提升的分析能力
除了原有的痕量水分析儀(Tiger HALO-H2O)、氣相色譜儀(Valco-PDD)等分析儀器以外,今年又新引進金屬元素分析儀(ICP-MS,Agilent-7900),可以對電子級一氧化碳產(chǎn)品中的金屬離子進行全面分析檢測,確認滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)制程對于氣體中金屬雜質(zhì)的要求。
同時,為了提高對產(chǎn)品中固體顆粒物的檢測能力,計劃采購世界先進的檢測儀器,預(yù)計在第四季度可以對電子級一氧化碳產(chǎn)品中的顆粒度進行精確分析。
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